일체형 타겟을 이용하는 경우, 코팅 시스템의 냉각수가 몰리브덴과 직접 닿게됩니다. 보통 이 냉각수는 억제제라고 하는 첨가제와 함께 일체형 타겟에 사용하도록 준비됩니다. 그러면 냉각수의 pH 값이 안정화되어 몰리브덴이 부식되는 것을 방지합니다. 특허 출원 중인 Plansee의 폴리머 기반 내부 코팅 기술은 일체형 회전식 타겟을 위해 특별히 개발되었으며, 코팅 소재와 냉각수의 직접적인 접촉을 방지합니다. 이렇게 하면 CIGS 태양광 전지와 TFT LCD 스크린 생산 시 억제제가 상당히 덜 필요하게 되어 비용을 절약할 수 있기 때문에 그 장점이 엄청납니다. 내구성이 좋은 내부 코팅은 매우 얇아 회전식 타겟의 열전도성에 큰 영향을 주지 않기 때문에 계속해서 뛰어난 스퍼터링 성능을 보장할 수 있습니다.
