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Rohsputtertargets aus Molybdän

Monolithische Rohrsputtertargets aus Molybdän

Bei der Herstellung von Molybdän-Schichten für CIGS-Rückkontakte oder Dünnfilmtransistoren in Flachbildschirmen (TFT-LCD, OLED) kommt Beschichtungsmaterial in Form von Sputtertargets aus Molybdän zum Einsatz. Monolithische Rohrtargets haben kein Trägerrohr und bestehen somit zu 100 % aus Beschichtungsmaterial. Mit diesen Targets kann die Sputterleistung deutlich gesteigert und damit ein höherer Durchsatz erzielt werden. Im Vergleich zu gebondeten Rohrtargets senkt die erhöhte Materialausbeute somit zusätzlich die Herstellkosten im Beschichtungsprozess.

Ihre Vorteile auf einen Blick:

  • Hohe metallische Reinheit
    > 99, 97 %

  • Hohe Dichte
    > 99,5 %

  • Homogene Mikrostruktur

  • Hoher Produktions­durchsatz und Ausbeute möglich

Unsere Produktspezifikationen für Sie zum Download:

Spezifikation Mo Rohrsputtertarget (monolithic)

Innenbeschichtung für monolithische Rohrtargets

Mo Rohsputtertarget

Bei der Verwendung von monolithischen Targets kommt Molybdän direkt mit dem Kühlwasser der Beschichtungsanlage in Kontakt. Üblicherweise wird das Kühlwasser mit geeigneten Zusätzen, sogenannten Inhibitoren, für den Einsatz monolithischer Targets vorbereitet. Sie stabilisieren den pH-Wert des Kühlwassers und verhindern die Korrosion des Molybdäns. Eine von Plansee zum Patent angemeldete, speziell für monolithische Rohrtargets entwickelte polymerbasierte Innenbeschichtung verhindert den direkten Kontakt von Beschichtungsmaterial und Kühlwasser. Ein großer Vorteil, denn dadurch werden zur Herstellung von CIGS-Solarzellen und TFT-LCD-Bildschirmen deutlich weniger Inhibitoren benötigt und somit Kosten gespart. Die langlebige Innenbeschichtung ist so dünn, dass sie die Wärmeleitfähigkeit des Rohrtargets nicht nennenswert beeinträchtigt und weiterhin hohe Sputterleistungen ermöglicht.

Mehr über die Vorteile monolithischer Rohrsputtertargets:

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