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MoW Sputtertargets

Sputtertargets aus Molybdän-Wolfram

Unsere Molybdän-Wolfram-Legierungen bieten im Vergleich zu reinem Molybdän eine verbesserte chemische Stabilität beim Nassätzen gegenüber ITO-, Aluminium- oder Kupfer-Ätzlösungen. Durch Zulegieren von Wolfram wird die Ätzrate selektiv an die Anforderungen angepasst. Der Wolframgehalt im Target wird passend für den Anwendungsfall eingestellt und beträgt bis zu 50 Gewichtsprozent. Mit unserem pulvermetallurgischen Herstellprozess garantieren wir eine homogene Wolframverteilung.

Ihre Vorteile auf einen Blick:

  • Hohe Reinheit
    > 99,97 %

  • Maximale Dichte
    > 99,95 %

  • Homogene Mikrostruktur und chemische Zusammensetzung

Unsere Produktspezifikationen für Sie zum Download:

Spezifikation MoW25 Sputtertargets

Kompetenzzentrum für neue Beschichtungslösungen

Sputtertargets Kompetenzzentrum

Im PVD-Prozess muss alles zusammenpassen. Nur wenn alle Prozessparameter perfekt aufeinander abgestimmt sind, entsteht genau die Schicht, die den Kundenanforderungen entspricht. In unserem PVD-Applikations­labor sputtern wir unter praxis­­nahen Bedingungen. Unser Entwickler­team erzeugt Schichten und analysiert sie genau nach definierten Vor­gaben. In Kooperation mit unseren Kunden und Entwicklungspartnern entstehen so neue Beschichtungswerkstoffe bei kurzen Entwicklungs­zeiten. Durch langjährige Kontakte mit Anlagenherstellern und OEMs beteiligen wir uns an neuesten Entwicklungen und Optimierungen. Wir beschichten viele unserer Produkte wie Halb­leiter­­basis­­platten und Drehanoden im eigenen Haus und setzen auf die Beschichtungs­prozesse PVD, CVD, APS und VPS.

Höchste Qualität seit 1921

Bereits seit einem ganzen Jahrhundert zählen unsere Kunden auf Plansee als unabhängiges Privatunternehmen. Zuverlässigkeit, Qualität und Kontinuität sind uns ein großes Anliegen. Besonders wenn es um die Rohstoffversorgung geht. Mit Global Tungsten & Powders und unserer Beteiligung an Molibdenos y Metales (Molymet) deckt die Plansee Group alle Schritte der Wolfram- und Molybdänverarbeitung ab. Von der Pulverherstellung über pulvermetallurgische Prozesse bis hin zur Produktion von Halbzeug und kundenspezifischen Komponenten.

Somit vereinen wir die komplette Wertschöpfungskette für unsere Sputtertargets unter einem Dach. Vom Rohstoff bis zum Endprodukt. Unsere In-house Produktion umfasst sowohl die Entwicklung neuer Werkstoffe als auch die Optimierung von Schichten und Beschichtungsverfahren.

Das Sintern ist das zentrale Verfahren in unserem Herstellungsprozess. Aus porösen Pulverpresslingen fertigen wir dabei kompakte, metallische Sinterformate. Im weltgrößten Warmwalzwerk für hochschmelzende Metalle produzieren wir Flachtargets. Nach dem Bearbeitungsprozess werden die Sputtertargets in unseren lokalen Bondingshops einbaufertig finalisiert.

    Oxid
    Reduktion
    Mischen Legieren
    Pressen
    Sintern
    Umformen
    Wärme- behandlung
    Mechan. Bearbeitung
    Bonding
    Qualitäts- sicherung
    Recycling
OxidMolymet (Chile) ist der weltweit größte Verarbeiter von Molybdän-Erzkonzentraten und unser Hauptlieferant für Molybdäntrioxid. Die Plansee Group hält 21,15 % Anteile an Molymet. Global Tungsten & Powders (USA) ist eine Division der Plansee Group und unser Hauptlieferant für Wolfram-Metallpulver.

Weitere Produkte für die Beschichtungsindustrie: