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MoTa Sputtertargets

Molybdän Tantal Sputtertargets für korrosionsbeständigsten Schichten in Displays

Mit seiner sehr guten Haftung auf Glas und seiner hohen elektrischen Leitfähigkeit ist Molybdän ein weitverbreiteter Werkstoff für Elektrodenschichten in Dünnfilmtransistoren (TFT-LCD) und in Berührungssensoren (Touchpanels). Diese Schichten sind im Herstellprozess und als Bestandteil des Displays Luftfeuchtigkeit und korrosiven Medien ausgesetzt. Molybdän-Tantal verbessert die chemische Beständigkeit dieser Schichten deutlich. Zudem lässt sich die Molybdän-Tantal-Schicht exzellent nasschemisch strukturieren (ätzen).

Ihre Vorteile auf einen Blick:

  • Hohe Reinheit
    > 99,97 %

  • Maximale Dichte
    > 98 %

  • Homogene Mikrostruktur und chemische Zusammensetzung

Unsere Produktspezifikationen für Sie zum Download:

Spezifikation MoTa Sputtertargets

Herstellung von Molybdän-Tantal Targets

Wir sind auf die pulvermetallurgische Herstellung von hochschmelzenden Metallen spezialisiert. Unsere MoTa-Targets entstehen durch sorgfältiges Mischen von reinstem Metallpulver. Der Tantalgehalt im Target wird passend für den Anwendungsfall eingestellt und beträgt bis zu 11 Gewichtsprozent. Anschließend wird das Pulver gepresst, in unseren Sinteranlagen gleichmäßig verdichtet und später zum Target umgeformt. In unseren eigenen Bondingshops finalisieren wir unsere MoTa-Targets für den Einsatz. So werden unsere MoTa-Targets höchsten Qualitätsanforderungen gerecht.

Maximale Dichte – homogene Mikrostruktur

MoTa-Sputtertargets von Plansee sind durch spezielle Umformverfahren hoch verdichtet. Der Vorteil: Der PVD-Beschichtungsprozess liefert homogene Beschichtungsraten und verbesserte Schichteigenschaften. Effizienz- und Ausbringungsvorteile in der Produktion von Dünnschichten sind das Resultat. Mit unserem pulvermetallurgischem Herstellverfahren können wir die Mikrostruktur des Beschichtungsmaterials gezielt auf die spezifische Anwendung einstellen.

Höchste Reinheit

Sputtertargets Kompetenzzentrum

Unsere Targets erfüllen höchste Reinheitsanforderungen. Die wichtigsten Vorteile: eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit der Schicht und eine minimale Partikelbildung während des PVD-Prozesses. Metallische und nichtmetallische Verunreinigungen im Sputtertarget übertragen sich auf die gesputterte Funktionsschicht und beeinflussen deren Funktion nachteilig oder führen zur Partikelbildung im PVD-Prozess (Arcing-Effekt). Wir garantieren, dass unsere MoTa-Targets mindestens 99,97 % rein sind.

Kompetenzzentrum für neue Beschichtungslösungen

Im PVD-Prozess muss alles zusammen­passen. Nur wenn alle Prozess­parameter perfekt aufeinander abgestimmt sind, entsteht die Schicht, die genau den Kundenanforderungen entspricht. In unserem PVD-Applikationslabor sputtern wir unter praxisnahen Bedingungen. Unser Entwicklerteam erzeugt hier Schichten und analysiert sie genau nach definierten Vorgaben. So entstehen in Kooperation mit Kunden und zahlreichen Entwicklungspartnern neue Beschichtungswerkstoffe bei kurzen Entwicklungszeiten. Durch langjährige Kontakte mit Anlagenherstellern und OEM´s beteiligen wir uns an neuesten Entwicklungen und Optimierungen.

Der beste Beweis für unsere Expertise sind wir selbst. Wir beschichten viele unserer Produkte wie Halbleiterbasisplatten und Drehanoden im eigenen Haus und setzen auf die Beschichtungsprozesse PVD, CVD, APS und VPS.

Rohstoffe: Alles aus sicherer Hand

Wir haben die komplette Wertschöpfungskette für unsere Sputtertargets selbst in der Hand. Vom Rohstoff bis zum Endprodukt: die Entwicklung neuer Werkstoffe sowie die Optimierung von Beschichtungsverfahren und Schichten eingeschlossen. Das Sintern ist das zentrale Verfahren in unserem pulvermetallurgischen Herstellungsprozess. Aus porösen Pulverpresslingen fertigen wir dabei kompakte, metallische Erzeugnisse. Mit dem weltgrößten Warmwalzwerk für hochschmelzende Metalle produzieren wir Wolframflachtargets. Nach dem Bearbeitungsprozess werden die Sputtertargets in unseren lokalen Bondingshops einbaufertig finalisiert.

Unsere Kunden zählen schon seit knapp 100 Jahren auf Plansee als unabhängiges Privatunternehmen. Ihnen wie uns ist Zuverlässigkeit und Kontinuität ein besonders großes Anliegen – besonders wenn es um die Rohstoffversorgung geht. Mit Global Tungsten & Powders (GTP) und unserer Beteiligung an Molibdenos y Metales (Molymet) deckt die Plansee-Gruppe alle Schritte der Wolfram- und Molybdänverarbeitung ab – von der Pulverherstellung über pulvermetallurgische Prozesse bis hin zur Produktion von Halbzeug und kundenspezifischen Komponenten. Besonders wichtig: Unsere Tantalpulver beziehen wir aus zertifizierten konfliktfreien Rohstoffquellen.

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