Sputtertargets aus Wolfram

Höchste Reinheit

Unsere Targets erfüllen höchste Reinheitsanforderungen. Die wichtigsten Vorteile: eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit der Schicht und eine minimale Partikelbildung während des PVD-Prozesses. Metallische und nichtmetallische Verunreinigungen im Sputtertarget übertragen sich auf die gesputterte Funktionsschicht und beeinflussen deren Funktion oder führen zur Partikelbildung im PVD-Prozess, dem sogenannten Arcing-Effekt. Wir garantieren, dass unsere Wolfram- Targets mindestens 99,97 % rein sind. Die typische Reinheit unserer Wolframtargets liegt sogar noch höher bei 99,99 %. So stellen wir sicher, dass die erzeugten Schichten den hohen Anforderungen gerecht werden, insbesondere auch für die Anwendung in der Mikroelektronik.

Maximale Dichte und homogene Mikrostruktur

Wolfram-Sputtertargets von Plansee sind durch spezielle Umformverfahren hoch verdichtet. Der Vorteil für den PVD-Beschichtungsprozess sind homogene Beschichtungsraten und verbesserte Schichteigenschaften. Effizienz- und Ausbringungsvorteile in der Produktion von Dünnschichten sind das Resultat. Mit unserem pulvermetallurgischem Herstellverfahren können wir die Mikrostruktur des Beschichtungsmaterials gezielt auf die Anwendung bezogen einstellen.

Rohstoffversorgung aus einer Hand

Die komplette Wertschöpfungskette für unsere Sputtertargets vereinen wir unter einem Dach. Vom Rohstoff bis zum Endprodukt. Unsere In-House Produktion deckt sowohl die Entwicklung neuer Werkstoffe als auch die Optimierung von Schichten und Beschichtungsverfahren ab. Das Sintern ist das zentrale Verfahren in unserem pulvermetallurgischen Herstellungsprozess. Dabei fertigen wir aus porösen Pulverpresslingen kompakte, metallische Erzeugnisse. Im weltgrößten Warmwalzwerk für hochschmelzende Metalle produzieren wir Wolframflachtargets. Nach dem Bearbeitungsprozess finalisieren wir die Sputtertargets in unseren lokalen Bondingshops einbaufertig.

Bereits seit einem ganzen Jahrhundert zählen unsere Kunden auf Plansee als unabhängiges Privatunternehmen. Ihnen wie uns ist Zuverlässigkeit und Kontinuität ein besonders großes Anliegen. Besonders wenn es um die Rohstoffversorgung geht. Mit Global Tungsten & Powders und einer Beteiligung an Molibdenos y Metales (Molymet) deckt die Plansee Gruppe alle Schritte der Wolfram- und Molybdänverarbeitung ab. Von der Pulverherstellung über pulvermetallurgische Prozesse bis hin zur Produktion von Halbzeug und kundenspezifischen Komponenten.