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W Sputtertarget

Sputtertargets aus Wolfram

Wolframschichten sind Bestandteile von Dünnfilmtransistoren in TFT-LCD Bildschirmen. Sie kommen dort zum Einsatz, wo große Bildschirmformate, besonders hohe Bildschärfe und optimierte Kontraste gefragt sind. Zudem werden Wolframtargets auch in der Mikroelektronik eingesetzt, zum Beispiel zur Erzeugung von Schichten in Frequenzfiltern (SAW / surface acoustic wave filter, BAW / bulk acoustic wave filter). Weitere Anwendungen für Wolframtargets sind Diffusionsbarrieren, zum Beispiel aus Wolframnitrid, Leiterbahnen in Bauteilen für die Mikroelektronik sowie reaktive gesputterte transparente Schichten aus Wolframoxid für OLED-Displays und in der Elektrochromie.

Ihre Vorteile auf einen Blick:

  • Hohe Reinheit
    > 99,97 %

  • Maximale Dichte
    > 99,5 %

  • Kompetenz­zentrum für neue Beschichtungs­lösungen

  • Homogene Mikrostruktur

Unsere Produktspezifikationen für Sie zum Download:

Spezifikation W-Sputtertargets

Wie entstehen Wolframschichten?

Im Magnetronsputterverfahren (PVD-Prozess) werden aus den Sputtertargets winzige Metallpartikel gelöst, die sich als Dünnfilm auf dem zu beschichtenden Material – dem sogenannten Substrat – absetzen. Dieses Beschichtungsverfahren ist ein kostengünstiger und schneller Beschichtungsprozess, in dem alle Materialien höchste Qualitätskriterien erfüllen müssen.

Höchste Reinheit

Unsere Targets erfüllen höchste Reinheitsanforderungen. Die wichtigsten Vorteile: eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit der Schicht und eine minimale Partikelbildung während des PVD-Prozesses. Metallische und nichtmetallische Verunreinigungen im Sputtertarget übertragen sich auf die gesputterte Funktionsschicht und beeinflussen deren Funktion oder führen zur Partikelbildung im PVD-Prozess, dem sogenannten Arcing-Effekt. Wir garantieren, dass unsere Wolfram- Targets mindestens 99,97 % rein sind. Die typische Reinheit unserer Wolframtargets liegt sogar noch höher bei 99,99 %. So stellen wir sicher, dass die erzeugten Schichten den hohen Anforderungen gerecht werden, insbesondere auch für die Anwendung in der Mikroelektronik.

Maximale Dichte und homogene Mikrostruktur

Wolfram-Sputtertargets von Plansee sind durch spezielle Umformverfahren hoch verdichtet. Der Vorteil für den PVD-Beschichtungsprozess sind homogene Beschichtungsraten und verbesserte Schichteigenschaften. Effizienz- und Ausbringungsvorteile in der Produktion von Dünnschichten sind das Resultat. Mit unserem pulvermetallurgischem Herstellverfahren können wir die Mikrostruktur des Beschichtungsmaterials gezielt auf die Anwendung bezogen einstellen.

Kompetenzzentrum für neue Beschichtungslösungen

Bondingshop Plansee

Im PVD-­Prozess muss alles zusammen­passen. Nur wenn alle Prozessparameter perfekt aufeinander abgestimmt sind, entsteht genau die Schicht, die den kundenspezifischen Anforderungen entspricht. In unserem PVD-Applikationslabor sputtern wir unter praxisnahen Bedingungen. Unser Entwicklerteam erzeugt Schichten und analysiert sie genau nach definierten Vor­gaben. In Kooperation mit unseren Kunden und zahlreichen Entwicklungspartnern entstehen so neue Beschichtungswerkstoffe bei kurzen Entwicklungszeiten. Durch langjährige Kontakte mit Anlagenherstellern und OEMs beteiligen wir uns an neuesten Entwicklungen und Optimierungen.

Rohstoffversorgung aus einer Hand

Die komplette Wertschöpfungskette für unsere Sputtertargets vereinen wir unter einem Dach. Vom Rohstoff bis zum Endprodukt. Unsere In-House Produktion deckt sowohl die Entwicklung neuer Werkstoffe als auch die Optimierung von Schichten und Beschichtungsverfahren ab. Das Sintern ist das zentrale Verfahren in unserem pulvermetallurgischen Herstellungsprozess. Dabei fertigen wir aus porösen Pulverpresslingen kompakte, metallische Erzeugnisse. Im weltgrößten Warmwalzwerk für hochschmelzende Metalle produzieren wir Wolframflachtargets. Nach dem Bearbeitungsprozess finalisieren wir die Sputtertargets in unseren lokalen Bondingshops einbaufertig.

Bereits seit einem ganzen Jahrhundert zählen unsere Kunden auf Plansee als unabhängiges Privatunternehmen. Ihnen wie uns ist Zuverlässigkeit und Kontinuität ein besonders großes Anliegen. Besonders wenn es um die Rohstoffversorgung geht. Mit Global Tungsten & Powders und einer Beteiligung an Molibdenos y Metales (Molymet) deckt die Plansee Gruppe alle Schritte der Wolfram- und Molybdänverarbeitung ab. Von der Pulverherstellung über pulvermetallurgische Prozesse bis hin zur Produktion von Halbzeug und kundenspezifischen Komponenten.

    Oxid
    Reduktion
    Mischen Legieren
    Pressen
    Sintern
    Umformen
    Wärme- behandlung
    Mechan. Bearbeitung
    Bonding
    Qualitäts- sicherung
    Recycling
OxidMolymet (Chile) ist der weltweit größte Verarbeiter von Molybdän-Erzkonzentraten und unser Hauptlieferant für Molybdäntrioxid. Die Plansee Group hält 21,15 % Anteile an Molymet. Global Tungsten & Powders (USA) ist eine Division der Plansee Group und unser Hauptlieferant für Wolfram-Metallpulver.

Weitere Produkte für die Beschichtungsindustrie: