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Wスパッタリングターゲット

タングステンスパッタリングターゲット

タングステン層は、TFT液晶画面の薄膜トランジスターの構成要素です。大画面、特に高精細な画像、最適なコントラストが求められる場合に使用されます。タングステンターゲットは、マイクロエレクトロニクスでも使用されており、例えば、周波数フィルター(SAW/表面弾性波フィルタ、BAW/バルク弾性波フィルタ)の層を形成するために使用されています。その他の用途としては、窒化タングステン製の拡散バリア、マイクロエレクトロニクス部品の導体トラック、有機ELディスプレイや電気化学分野で使用される酸化タングステン製の反応性スパッタリングによる透明層などがあります。

一目でわかるメリット:

  • 高純度
    99.97%以上

  • 最大の密度
    99.5%以上

  • 新しいコーティングソリューションのための専門家集団

  • 均質な微細構造

製品仕様書のダウンロードはこちら:

Wスパッタリングターゲット仕様

タングステン層はどのようにして作られるのですか?

マグネトロンスパッタリングプロセス(PVDプロセス)では、スパッタリングターゲットから微小な金属粒子が放出され、コーティングされる材料(いわゆる基板)上に薄膜として定着します。このコーティングプロセスは、費用対効果が高く、迅速なコーティングプロセスですが、すべての材料が最も厳しい品質基準を満たす必要があります。

最大の純度

弊社のターゲットは、最も厳しい純度要件を満たしています。その主な利点は、層の優れた電気伝導性とPVDプロセス中の粒子形成の最小化です。スパッタリングターゲットに含まれる金属および非金属の不純物は、スパッタリングされた機能層に移行し、その機能に影響を与えたり、PVDプロセスでのパーティクル形成の原因となります(いわゆるアーキング効果)。弊社では、タングステンターゲットの純度が99.97%以上であることを保証しています。一般的な純度は99.99%とさらに高いです。このようにして、製造された層は、特にマイクロエレクトロニクスで使用される厳しい要件を満たすことが保証されています。

最高密度と均質な微細構造

プランゼーのタングステンスパッタリングターゲットは、特殊な成形プロセスによって高圧縮されています。PVDコーティングプロセスの利点は、均一なコーティング率とコーティング特性の向上です。その結果、薄膜の製造における効率と生産量が向上します。プランゼーの粉末冶金法による製造プロセスでは、コーティング材料の微細構造を特定のアプリケーションに合わせて調整することができます。

新しいコーティングソリューションのための専門家集団

プランゼーボンディングショップ

PVDプロセスでは、すべてが完璧にマッチしなければなりません。すべてのプロセスパラメータが完璧にマッチしてこそ、顧客固有の要求を正確に満たす層を作ることができるのです。弊社のPVD用途ラボでは、実用的な条件でスパッタリングを行っています。弊社の開発チームは、定義された仕様に基づいてレイヤーを作成し、詳細に分析します。新しいコーティング材料は、お客様や多くの開発パートナーとの協力により、短期間で開発されます。システムメーカーやOEMメーカーと数年にわたって仕事をしてきた弊社は、最新の開発や最適化に直接関わっています。

単一の供給元からの原材料供給

弊社は、スパッタリングターゲットの付加価値チェーン全体をひとつの屋根の下に置いています。原材料から最終製品まで。弊社の社内生産は、新材料の開発と、層やコーティングプロセスの最適化の両方を網羅しています。焼結は、弊社の粉末冶金製造プロセスの中心的な工程です。多孔質の粉末ブランクからコンパクトな金属製品を製造する方法です。世界最大級の耐火物金属用の熱間圧延機でタングステンの平面ターゲットを製造します。その後、機械加工を経て、地元のボンディングショップで設置できるようにスパッタリングターゲットを仕上げます。

弊社のお客様は、独立した民間企業であるプランゼーを1世紀に渡って信頼してきました。信頼性と継続性は、お客様と同様に弊社にとっても重要です。特に、原材料の供給に関してです。プランゼーグループは、グローバルなタングステン&パウダーモリブデノス・イ・メタレス(モリメ)の株式を保有することで、タングステンとモリブデンの加工に関わるすべてのステップをカバーしています。粉末の製造から粉末冶金プロセス、そして半製品や顧客固有の部品の製造に至るまで、すべての工程が含まれています。

    酸化
    還元
    合金の混合
    プレス加工
    焼結
    成形
    熱処理
    機械加工
    ボンディング
    品質保証
    リサイクル
酸化モリメット社(チリ)は、世界最大のモリブデン鉱石精鉱の加工業者であり、三酸化モリブデンの主な供給元でもあります。プランゼーグループはモリーメット社の21.15%の株式を保有しています。Global Tungsten & Powders社(米国)はプランゼーグループの一部門で、タングステン金属粉の主要サプライヤーです。

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