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MoTaスパッタリングターゲット

ディスプレイの高腐食耐性層に向けたモリブデン‐タンタルスパッタリングターゲット

モリブデンは、ガラスとの接着性に優れ、高い導電性を持つことから、薄膜トランジスタ(TFT-LCD)や触覚センサー(タッチパネル)の電極層に広く使用されている材料です。これらの層は、製造工程やディスプレイの構成要素として、湿度や腐食性の媒体にさらされます。モリブデン‐タンタルは、これらの層の耐薬品性を大幅に向上させます。また、モリブデン-タンタル層は、優れたウェットケミカルストラクチャリング(エッチング)特性を持っています。

一目でわかるメリット:

  • 高純度
    99.97%以上

  • 最大の密度
    > 98%

  • 均質な微細構造と化学組成

製品仕様書のダウンロードはこちら:

MoTaスパッタリングターゲット仕様

モリブデン‐タンタルターゲットの製造

弊社は、粉末冶金法による耐火物金属の製造を専門としています。弊社のMoTaターゲットは、最も純度の高い金属粉末を慎重に混合して製造されます。ターゲット中のタンタル含有量は、用途に応じて定義され、重量比で最大11%となります。その後、粉末をプレスし、弊社の焼結装置で均一に圧縮して、ターゲットに成形します。弊社は、自社のボンディングショップで使用するために、MoTaターゲットを完成させます。そのため、弊社のMoTaターゲットは、最も厳しい品質要件を満たしています。

最大の密度 - 均質な微細構造

プランゼーのMoTaスパッタリングターゲットは、特殊な成形プロセスによって高圧縮されています。ここでの主な利点は、PVDコーティングプロセスにより、均一なコーティング率とコーティング特性の向上が保証されることです。その結果、薄膜の製造における効率と生産量が向上します。プランゼーの粉末冶金法による製造プロセスでは、コーティング材料の微細構造を特定のアプリケーションに合わせて調整することができます。

最大の純度

スパッタリングターゲットの専門家集団

弊社のターゲットは、最も厳しい純度要件を満たしています。その主な利点は、層の優れた電気伝導性とPVDプロセス中の粒子形成の最小化です。スパッタリングターゲットに含まれる金属や非金属の不純物が、スパッタリングされた機能層に移行し、機能が損なわれたり、PVDプロセスでパーティクルが発生したりする(アーキング効果)ことがあります。弊社のMoTaターゲットは、99.97%以上の純度を保証しています。

新しいコーティングソリューションのための専門家集団

PVDコーティングのプロセスでは、すべてが完璧にマッチしなければなりません。すべてのプロセスパラメータが完璧にマッチしてこそ、顧客の正確な要求に合った層を作ることができるのです。弊社のPVD用途ラボでは、実用的な条件でスパッタリングを行っています。弊社の開発チームは、ここで定義された仕様に基づいてレイヤーを作成し、詳細に分析します。これは、顧客や多くの開発パートナーと協力して、新しいコーティング材料を非常に短期間で開発することを意味しています。システムメーカーやOEMメーカーと数年にわたって仕事をしてきた弊社は、最新の開発や最適化に直接関わっています。

弊社の専門性を証明するのは、弊社自身です。弊社は、半導体ベースプレートや回転するX線陽極などの多くの製品を、PVD、CVD、APS、VPSなどのコーティングプロセスを用いて自社でコーティングしています。

原材料:信頼できる供給元からすべてを調達

弊社は、スパッタリングターゲットの付加価値チェーン全体を一つの屋根の下で管理しています。原材料から最終製品まで、新素材の開発やコーティングプロセスとレイヤーの最適化も行っています。焼結は、弊社の粉末冶金製造プロセスの中心的な工程です。多孔質粉末のブランクからコンパクトな金属製品を製造します。ま世界最大級の耐火物金属用の熱間圧延機を用いて、タングステン製の平面ターゲットを製造しています。機械加工の後、スパッタリングターゲットは、地元のボンディングショップに設置できるように仕上げられます。

弊社のお客様は、独立した民間企業であるプランゼーを100年近く信頼してくださっています。信頼性と継続性は、お客様と同じように弊社にとっても重要です。プランゼーグループは、グローバルなタングステン&パウダーズ(GTP)モリブデノス・イ・メタレス(モリメ)の株式を保有することで、タングステンとモリブデンの加工に関わるすべての工程をカバーしています。これは、粉末の製造から粉末冶金プロセス、半製品やお客様固有の部品の製造に至るまでのすべての工程です。そして、本当に重要なのは、弊社がタンタルパウダーを紛争とは無縁の認定された原材料源から調達していることです。

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