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MoWスパッタリングターゲット

モリブデン-タングステンスパッタリングターゲット

弊社のモリブデン‐タングステン合金は、ITO、アルミニウム、銅などのエッチング液を用いたウェットエッチングにおいて、純モリブデンよりも化学的安定性に優れています。また、タングステンを添加することで、エッチングの速度を要求に応じて選択的に調整することができます。ターゲット中のタングステン含有量は、用途に応じて定義され、最大で重量の50%となります。弊社の粉末冶金法による製造工程では、タングステンの均一な分布が保証されています。

一目でわかるメリット:

  • 高純度
    99.97%以上

  • 最大の密度
    > 99.95%

  • 均質な微細構造と化学組成

製品仕様書のダウンロードはこちら:

MoW25スパッタリングターゲット仕様

新しいコーティングソリューションのための専門家集団

スパッタリングターゲットの専門家集団

PVDコーティングのプロセスでは、すべてが完璧にマッチしなければなりません。すべてのプロセスパラメータが完璧にマッチしてこそ、顧客の正確な要求に合った層を作ることができるのです。弊社のPVDアプリケーションラボでは、実際の状況下でスパッタリングを行っています。弊社の開発チームは、定義された仕様に基づいてレイヤーを作成し、詳細に分析します。新しいコーティング材料は、お客様や開発パートナーとの協力により、短期間で開発されます。システムメーカーやOEMメーカーと数年にわたって仕事をしてきた弊社は、最新の開発や最適化に直接関わっています。弊社は、半導体ベースプレートや回転するX線陽極などの多くの製品を、PVD、CVD、APS、VPSなどのコーティングプロセスを用いて自社でコーティングしています。

1921年以来の最高品質

弊社のお客様は、独立した民間企業であるプランゼーを1世紀に渡って信頼してきました。信頼性、品質、そして継続性は、弊社にとって非常に重要です。特に、原材料の供給に関してです。プランゼーグループは、グローバルなタングステン&パウダーモリブデノス・イ・メタレス(モリメ)の弊社株式を保有することで、タングステンとモリブデンの加工に関わるすべてのステップをカバーしています。粉末の製造から粉末冶金プロセス、そして半製品や顧客固有の部品の製造に至るまで、すべての工程が含まれています。

このように、弊社はスパッタリングターゲットの原材料から最終製品までの付加価値チェーン全体を一つの屋根の下に置いています。弊社の社内生産は、新材料の開発と、層やコーティングプロセスの最適化の両方を網羅しています。

焼結は、弊社の製造工程の中心的なプロセスです。弊社は、多孔質の粉体ブランクからコンパクトな金属焼結部品を製造します。世界最大級の耐火物金属用の熱間圧延機で平面ターゲットを製造しています。機械加工の後、スパッタリングターゲットは、地元のボンディングショップに設置できるように仕上げられます。

    酸化
    還元
    合金の混合
    プレス加工
    焼結
    成形
    熱処理
    機械加工
    ボンディング
    品質保証
    リサイクル
酸化モリメット社(チリ)は、世界最大のモリブデン鉱石精鉱の加工業者であり、三酸化モリブデンの主な供給元でもあります。プランゼーグループはモリーメット社の21.15%の株式を保有しています。Global Tungsten & Powders社(米国)はプランゼーグループの一部門で、タングステン金属粉の主要サプライヤーです。

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