モノリシックターゲットを使用する場合、モリブデンはコーティングシステムからの冷却水に直接接触します。通常、冷却水はモノリシックターゲットを使用するために、適切な添加剤、いわゆるインヒビターで準備されます。これらは冷却水のpH値を安定させ、モリブデンが腐食するのを防ぎます。モノリシックロータリーターゲット用に特別に開発されたプランゼーのポリマーベースの内部コーティング(特許出願中)は、コーティング材と冷却水の直接接触を防ぎます。これは、CIGS太陽電池やTFT LCDスクリーンの製造に必要な阻害剤が大幅に減り、コストが削減できるという大きなメリットがあります。耐久性のある内部コーティングは非常に薄いため、ロータリーターゲットの熱伝導率には目立った影響を与えず、引き続き優れたスパッタリング性能を保証します。