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モリブデンロータリスパッタリングターゲット

モリブデン製モノリシックロータリースパッタリングターゲット

モリブデンスパッタリングターゲットの形をしたコーティング材は、CIGSバックコンタクトやフラットスクリーン(TFT LCD、OLED)の薄膜トランジスタ用のモリブデン層の製造に使用されます。モノリシックロータリーターゲットは、バッキングチューブがないため、100%コーティング材で構成されています。このターゲットは、スパッタリング性能を大幅に向上させ、より高いスループットを実現します。また、ボンディングされたロータリーターゲットに比べて材料の歩留まりが良いため、コーティングプロセスの製造コストを削減することができます。

一目でわかるメリット:


  • 99.97%以上の高純度


  • 99.5%以上の高密度

  • 均質な微細構造

  • 高い生産スループットと歩留まりが可能

製品仕様書のダウンロードはこちら:

Moのロータリースパッタリングターゲット仕様(モノリシック)

モノリス型ロータリーターゲットの内部コーティング

Moロータリースパッタリング・ターゲット

モノリシックターゲットを使用する場合、モリブデンはコーティングシステムからの冷却水に直接接触します。通常、冷却水はモノリシックターゲットを使用するために、適切な添加剤、いわゆるインヒビターで準備されます。これらは冷却水のpH値を安定させ、モリブデンが腐食するのを防ぎます。モノリシックロータリーターゲット用に特別に開発されたプランゼーのポリマーベースの内部コーティング(特許出願中)は、コーティング材と冷却水の直接接触を防ぎます。これは、CIGS太陽電池やTFT LCDスクリーンの製造に必要な阻害剤が大幅に減り、コストが削減できるという大きなメリットがあります。耐久性のある内部コーティングは非常に薄いため、ロータリーターゲットの熱伝導率には目立った影響を与えず、引き続き優れたスパッタリング性能を保証します。

モノリシックロータリースパッタリングターゲットのメリットについてはこちら:

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