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MoNbスパッタリングターゲット

腐食耐性層に向けたモリブデン-ニオビウムのスパッタリングターゲット

モリブデン-ニオビウム(MoNb)は、タッチパネルでは、ITOセンサーの特に耐腐食性の高い接点として使用されています。弊社のMoNbターゲットは、最も厳しい品質要件を満たしています。純度の高い金属粉からターゲットの完成品まで、すべての製造工程を一つの屋根の下で行っています。弊社のMoNbターゲットは、一般的なサイズの平面ターゲットおよびロータリーターゲットとして利用できます。

一目でわかるメリット:

  • 高純度
    99.97%以上

  • 最大の密度
    > 98.5%

  • 均質な微細構造と化学組成

製品仕様書のダウンロードはこちら:

MoNb10スパッタリングターゲット仕様

MoNbターゲットの製造

弊社は、粉末冶金法による耐火物金属の製造を専門としています。弊社のMoNbターゲットは、円形または平面に関わらず、最も純度の高い金属粉末を慎重に混合して製造されます。ターゲットに含まれるニオビウムの含有量は用途に応じて定義され、重量比で最大10%になります。その後、粉末をプレスし、弊社の焼結装置で均一に圧縮し、その後ターゲットに成形します。弊社は、自社のボンディングショップで使用するために、MoNbターゲットを完成させます。弊社は、MoNbスパッタリングターゲットの製造プロセスをいくつかの特許で保護しています。

 

モリブデン-タンタルスパッタリングターゲット

MoNbだけでなく、特に耐食性の高い層にはモリブデン‐タンタルも含まれています。

MoTaスパッタリングターゲット
スパッタリングターゲットの専門家集団

新しいコーティングソリューションのための専門家集団

PVDプロセスでは、すべてが完璧にマッチしなければなりません。すべてのプロセスパラメータが完璧にマッチしてこそ、顧客の正確な要求に合った層を作ることができるのです。弊社のPVDアプリケーションラボでは、実際の状況下でスパッタリングを行っています。ここでは、開発者のチームが、正確に定義された仕様に基づいて層を作成し、分析しています。

新しいコーティング材料は、お客様や多くの研究パートナーとの協力により、短期間で開発されます。システムメーカーやOEMメーカーと数年にわたって仕事をしてきた弊社は、最新の開発や最適化に直接関わっています。

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