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モリブデンスパッタリングターゲット

モリブデンスパッタリングターゲット

モリブデン層は、TFT-LCDや有機EL液晶画面の薄膜トランジスタの主要構成要素で、個々のピクセルを制御します

導電性モリブデンの非常に微細な層は、あらゆるタイプのディスプレイを制御するために不可欠であり、この層を適用するためにはスパッタリングターゲットが必要です。真空チャンバー内でのこのプロセスでは、モリブデンスパッタリングターゲットは、アルゴン イオン原子を照射することでターゲット材料から排出されます。原子はアルゴンプラズマの中でイオン化され、ディスプレイ上に堆積し、非常に微細な層を形成します。

モリブデン層は他の用途にも使用されています。例えば、 薄膜太陽電池(CIGS, CdTe)やマイクロエレクトロニクス部品(半導体部品、SAW/BAW周波数フィルター、リソグラフィー)のバックコンタクトとして使用されています。

一目でわかるメリット:

  • 高純度
    99.97%以上

  • 最大の密度
    99.5%以上

  • 均質な微細構造

  • PVDコーティングにおける専門知識、研究施設

  • 特定のアプリケーションに最適なテクスチャー

モリブデン層の成膜方法

マグネトロンスパッタリングプロセス(PVDプロセス)では、スパッタリングターゲットから金属原子が放出され、コーティングされる材料(「基板」と呼ばれる)上に薄膜として定着します。このプロセスは、費用対効果が高く、効率的なコーティングプロセスですが、すべての元となるターゲット材料が非常に厳しい品質基準を満たす必要があります。

PVDプロセスの説明

ご質問はございませんか?お気軽にお問い合わせください。

あらゆるサイズのターゲット製造が可能

弊社では、あらゆる一般的な寸法とコーティングシステムに対応したシングルパートおよびマルチパート設計の平面および管状モリブデンターゲットを製造しています。

ターゲットの純度

スパッタリングターゲットに含まれる金属や非金属の不純物は、スパッタリングされた機能層に移行し、その機能に影響を与えたり、PVDプロセスでの粒子形成の原因となります(アーキング効果)。

このため、スパッタリングターゲットは最高の純度要件を満たす必要があります。主な利点は、層の優れた電気伝導率、PVDプロセス中の粒子形成の最小化、およびスパッタリングターゲットの寿命全体にわたる均質なコーティング率です。

弊社では、モリブデンターゲットの純度が99.97%(3N7)以上であることを保証しています。弊社のモリブデンターゲットの標準的な純度は99.99%です。このようにして、製造される層が厳しい要求を満たすことを保証しています。当社では、半導体産業の用途向けに 99.995% (4N5)以上 の純度を保証しています。

最高の密度と均質な微細構造

弊社のモリブデンスパッタリングターゲットは、特殊な成形プロセスによって高圧縮されています。これにより、PVDコーティングプロセスでのコーティング速度が向上し、均質され、薄膜の物性が改善されます。薄膜製造の効率化にも寄与します。

弊社の製造プロセスでは、コーティング材料の微細構造を目的に応じて調整することができます。均一な微細構造とテクスチャを備えたスパッタリングターゲットにより、一貫したスパッタリングレートと膜厚さが保証されます。

新しいコーティングソリューションの開発に向けた提携

PVDコーティングプロセスでは、すべてが完璧にマッチしなければなりません。すべてのプロセスパラメータが完璧にマッチしてこそ、顧客の正確な要求に合った層を作ることができるのです。システムメーカーや科学研究所と長年にわたって仕事をしてきた弊社は、最新の開発や最適化に直接関わっています。弊社の開発チームは、定義された仕様に基づいてフィルム システムを作成し、詳細に分析します。これは、顧客や多くの開発パートナーと協力して、新しいコーティング材を非常に短期間で開発することを意味しています。

最高の品質をワンストップで提供

弊社は、コンフリクトフリーの原材料の調達から最終製品まで、スパッタリングターゲットの付加価値チェーン全体をひとつの屋根の下で行っています。粉体ブランクは、圧縮された金属製品の製造の基礎となります。弊社のリフラクトリーメタル用熱間圧延機では、平面ターゲットを製造しています。独自の成形プロセスでロータリーターゲットを製造します。その後、機械加工を経て、様々なボンディング技術の利用で、地元のボンディングショップで設置できるようにスパッタリングターゲットを仕上げます。

プランゼーグループは、Molibdenos y Metales (Molymet)の株式を保有することで、モリブデンの加工に関わるすべてのステップをカバーしています。粉末の製造から粉末冶金プロセス、そして半製品や顧客固有の部品の製造に至るまで、すべての工程が含まれています。

    酸化
    還元
    合金の混合
    プレス加工
    焼結
    成形
    熱処理
    機械加工
    品質保証
    リサイクル
酸化モリメット社(チリ)は、世界最大のモリブデン鉱石精鉱の加工業者であり、三酸化モリブデンの主な供給元でもあります。プランゼーグループはモリーメット社の21.15%の株式を保有しています。Global Tungsten & Powders社(米国)はプランゼーグループの一部門で、タングステン金属粉の主要サプライヤーです。

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