Online ShopMy Plansee
Plansee Group
主页
Online ShopMy PlanseePlansee Group
氧化钼溅射靶

氧化钼溅射靶

氧化钼层光学反射低,因此在现代平面屏中有着广泛的应用,无论是用于可靠地分离亚像素、理想覆盖导体轨道,还是用于防止令人困扰的环境光反射,氧化钼层都能胜任。我们可提供具有不同化学成分的氧化钼,可作为平面靶材,用于生产此类涂层。为了调整 MoOx 层的刻蚀性和耐化学性,我们在氧化钼中掺杂其他金属元素。

优势一览:

  • 纯度高
    > 99.9%

  • 同质微观结构和化学成分

  • 成分可变

  • 电导率

下载我们的产品规格:

MoOxTa8 溅射靶规格

重要特性一览

密度 [%] ≥ 95
纯度 [%] > 99.9
热膨胀系数 [ppm/K] 5
热导率 [W/(m-K)] 4 - 6
电导率 [S/cm] 120 - 1100

屏幕中的氧化钼应用

窄边框显示器和触摸屏:导体轨道覆盖

现代桌面显示器和大型电视屏幕大都摒弃了塑料框架,即边框。这不仅改善了屏幕外观,还能将多个屏幕放在一起形成一个大屏幕。但没有了塑料框架,TFT 玻璃上的高反射钼、铝或铜导体轨道就会裸露在外。此时,额外的 MoOx 抗反射涂层便可解决这一问题。金属钼会反射大约 60% 的入射光,而同样厚度的 MoOx 层的反射率不足 6% (550 nm)。这为导体轨道提供了极好的防护。

氧化钼层

横截面:氧化钼层如何覆盖窄边框屏幕中的导体轨道(即暗氧化层)。

在触摸屏中,氧化钼 PVD 薄层可防止金属表面(金属桥)与电容式触觉传感器发生不必要的反射。

氧化钼层智能手机

当涂有氧化钼时,触摸屏中的触觉传感器便不会有存在感。

OLED:集抗反射层与电极于一体

当环境光照射到 OLED 显示屏上时,TFT 钼金属喷镀层(栅极、源极/漏极电极)会反射环境光,从而降低显示器的对比度。圆偏振滤波器可用于减少不必要的反射。它们虽然减少了来自电极的反射,但也降低了显示器的光输出。MoOx 能够非常好地吸收光线并且还具有导电性,因而是 TFT 金属喷镀理想的抗反射层。使用 MoOx 可使 OLED 制造商省去偏振层。

用于 OLED 和太阳能电池技术的氧化钼透明薄膜

透明的 MoOx 层代表了另一个应用领域。在涂层工艺中添加氧,允许将膜的氧含量最高调节至三氧化钼的化学计量数。这些薄膜具有特殊的电子特性,尤其其电子逸出功较高。MoOx 透明薄膜因此可以用作 OLED 技术中的“空穴注入层”(HIL)。在基于 CIGS 和 CdTe 的薄膜太阳能电池中,MoOx 薄膜常作为背触点中的部件和阻挡层(例如,防止硒化)。有机太阳能电池也受益于额外的三氧化钼层。

有关更多详细信息,请参阅《Nature Research》上的文章《Thin-film metal oxides in organic semiconductor devices: their electronic structures, work functions and interfaces(有机半导体设备中的薄膜金属氧化物:其电子结构、逸出功和接合)》。

阅读文章

OLED 显示屏中 RBG 像素结构的简化示意图:

氧化钼层 OLED 显示屏

OLED 显示屏活性层的简化示意图

透明的 MoOx 层也用于高效异质结硅太阳能电池。洛桑联邦理工学院的研究人员发布了关于该主题的出版物,题为:《Toward Annealing‐Stable Molybdenum‐Oxide‐Based Hole‐Selective Contacts For Silicon Photovoltaics(关于适用于硅光伏的退火稳定氧化钼基空穴选择性接触)》,该论文由 Essig 于 2018 年发布于 Solar RRL - Wiley Online Library。

阅读文章
氧化钼层太阳能电池
MoOx/a-Si:H/c-Si 太阳能电池结构示意图

在气体传感器、催化剂或薄膜电池中,氧化钼层对于水分解(光催化生产氢气)的适用性是当今科研重点应用中十分值得进一步探究的领域。

新涂层解决方案专业中心

在 PVD 涂层工艺中,每个部件均须完美契合。只有在所有工艺参数均完美契合的情况下,才能生产出符合客户特定需求的涂层。我们的溅射工艺在实际条件下的 PVD 应用实验室中进行。我们的研发团队会根据指定的规格制作涂层并开展详细分析。我们在自己的涂层实验室中测试氧化钼的涂层特性。我们很乐意就各种材料成分、薄膜厚度和工艺参数提供建议。

我们已为氧化钼溅射靶的制造和特性申请了多项专利。

关于此主题的更多文章:

《Thin-film metal oxides in organic semiconductor devices: their electronic structures, work functions and interfaces(有机半导体设备中的薄膜金属氧化物:其电子结构、逸出功和接合)》

阅读文章

《Toward Annealing‐Stable Molybdenum‐Oxide‐Based Hole‐Selective Contacts For Silicon Photovoltaics(关于适用于硅光伏的退火稳定氧化钼基空穴选择性接触)》,Essig 于 2018 年发布于 Solar RRL - Wiley Online Library

阅读文章

其他涂层行业产品: