Sputtertargets aus Molybdän.

Molybdänschichten sind Hauptbestandteile von Dünnfilmtransistoren in TFT-LCD Bildschirmen. Blitzschnell steuern sie die einzelnen Bildpunkte (Pixel) und sorgen damit für besonders scharfe Bilder. Molybdänschichten bilden aber auch den Rückkontakt in CIGS-Solarzellen.

Wie entstehen diese Schichten?

Im Magnetronsputterverfahren werden aus Sputtertargets winzige Metallpartikel gelöst, die sich als Dünnfilm auf dem Glassubstrat absetzen. Das Beschichtungsverfahren ist ein kostengünstiger und schneller Beschichtungsprozess, in dem alle Materialien höchste Qualitätskriterien erfüllen müssen. Auf unsere Sputtertargets aus Molybdän können Sie sich verlassen:

Keiner ist reiner.

Unsere Targets sind unschlagbar rein. Die wichtigsten Vorteile: eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit Ihrer Schicht und eine minimale Partikelbildung während des PVD-Prozesses. Denn: Metall- und Gasverunreinigungen im Sputtertarget finden sich beinahe 1:1 in der gesputterten Funktionsschicht wieder und führen zur Partikelbildung im PVD Prozess (Arcing-Effekt). Wir garantieren Ihnen, dass unsere Molybdän-Targets mindestens 99,97 % rein sind. Die durchschnittliche Reinheit unserer Molybdäntargets liegt bei unschlagbaren 99,99 %. Der typische Sauerstoffgehalt liegt bei 6 ppm. Mit diesem Wert schlagen wir die Konkurrenz um mehr als den Faktor zwei. So tragen wir dazu bei, dass jeder Bildpunkt im TFT-LCD Display einwandfrei angesteuert wird und Rückkontake in CIGS optimal funktionieren.

Bondingshop Japan — Plansee hat eigene Bondingshops in Asien

Molybdän Rohrtarget — Sorgfältige Qualitätskontrolle

Maximale Dichte. Homogene Mikrostruktur.

Molybdän-Sputtertargets von Plansee sind durch spezielle Umformverfahren nahezu 100% dicht. Der Vorteil für Ihren Prozess ist Zeitgewinn durch hohe Sputtergeschwindigkeiten. Und je dichter das Molybdän-Target ist, umso besser ist die Leitfähigkeit Ihrer Schicht.

Mit unserem Herstellverfahren können wir die Mikrostruktur des Beschichtungsmaterials gezielt einstellen. Sind die Körner des Sputtertargets gleichmäßig ausgerichtet, profitieren Sie von gleichmäßigen Abtragsraten und homogenen Schichten.

Sie wollen die perfekte Schicht? Wir regeln das.

Soviel ist sicher: Im PVD-Prozess muss alles zusammenpassen. Nur wenn alle Prozessparameter perfekt aufeinander abgestimmt sind, entsteht die Schicht, die genau Ihren Anforderungen entspricht. In unserem PVD-Applikationslabor sputtern wir unter praxisnahen Bedingungen. Unser Entwicklerteam erzeugt hier Schichten und analysiert sie genau nach Ihren Vorgaben. So entstehen in Kooperation mit Ihnen und zahlreichen Entwicklungsinstituten immer neue Beschichtungswerkstoffe bei minimalen Entwicklungszeiten.

Der beste Beweis für unsere Expertise sind wir selbst. Wir beschichten viele unserer Produkte wie Halbleiterbasisplatten und Drehanoden im eigenen Haus und setzen die Beschichtungsprozesse PVD, CVD, APS und VPS ein.

In unserem PVD-Applikationslabor sputtern wir unter praxisnahen Bedingungen. Unser Entwicklerteam erzeugt hier Schichten und analysiert sie genau nach Ihren Vorgaben.

Flachtargets aus Molybdän.

Unsere Materialien überzeugen seit mehr als 20 Jahren als Dünnschichten in TFT-Displays.

hohe Reinheit
maximale Dichte
homogene Mikrostruktur

Entscheiden Sie sich für unsere einteiligen oder mehrteiligen Flachtargets, die wir gerne in-house für Sie bonden. Wir fertigen unsere planaren Sputtertargets für alle gängigen Anlagen.

Rohrtargets aus Molybdän.

Sie wollen mehr rausholen? Nutzen Sie mit unseren Rohrtargets mehr als 75 % des Target-Materials und verlängern Sie so die Standzeit. Wir fertigen Rohrtargets bis zu vier Meter lang auf wiederverwendbaren Trägerrohren aus Stahl oder Titan.

Testen Sie auch unsere monolithischen Rohrtargets ohne Trägerrohr. Sie sind weniger temperaturempfindlich und können mit bis zu 30 kW/m besonders schnell abgesputtert werden.

Monolithic-rotary-target — Monolithisches Rohrtargets aus Molybdän

Monolithische Targets jetzt mit Innenbeschichtung.

Protected-by-inner-diameter-coating sputtering targets

Sie wollen Kosten sparen? Wir statten unsere monolithischen Molybdäntargets mit einer polymerbasierten Schicht aus.

Erfahren Sie, warum sich die Innenbeschichtung auch für Sie auszahlt.

Einwandfreie Qualität aus einer Hand.

Als einziger Sputtertarget-Hersteller haben wir alles selbst in der Hand. Vom Rohstoff bis zum Endprodukt: die Entwicklung neuer Werkstoffe sowie die Optimierung von Beschichtungsverfahren und Schichten eingeschlossen. Das Sintern ist das zentrale Verfahren in unserem pulvermetallurgischen Herstellungsprozess. Aus porösen Pulverpresslingen fertigen wir dabei kompakte, metallische Teile. Mit dem weltgrößten Warmwalzwerk für hochschmelzende Metalle produzieren wir Flachtargets mit maximaler Dichte. Rohrtargets stellen wir mit speziellen Umformverfahren her.