Sputtertargets aus Molybdän.

Molybdänschichten sind Hauptbestandteile von Dünnfilmtransistoren in TFT-LCD Bildschirmen. Blitzschnell steuern sie die einzelnen Bildpunkte (Pixel) und sorgen damit für besonders scharfe Bilder. Molybdänschichten bilden aber auch den Rückkontakt in CIGS-Solarzellen.

Wie entstehen diese Schichten?

Im Magnetronsputterverfahren werden aus Sputtertargets winzige Metallpartikel gelöst, die sich als Dünnfilm auf dem Glassubstrat absetzen. Das Beschichtungsverfahren ist ein kostengünstiger und schneller Beschichtungsprozess, in dem alle Materialien höchste Qualitätskriterien erfüllen müssen. Auf unsere Sputtertargets aus Molybdän können Sie sich verlassen:

Video: Alles unter einem Dach.

Keiner ist reiner.

Unsere Targets sind unschlagbar rein. Die wichtigsten Vorteile: eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit Ihrer Schicht und eine minimale Partikelbildung während des PVD-Prozesses. Denn: Metall- und Gasverunreinigungen im Sputtertarget finden sich beinahe 1:1 in der gesputterten Funktionsschicht wieder und führen zur Partikelbildung im PVD Prozess (Arcing-Effekt). Wir garantieren Ihnen, dass unsere Molybdän-Targets mindestens 99,97 % rein sind. Die durchschnittliche Reinheit unserer Molybdäntargets liegt bei unschlagbaren 99,99 %. Der typische Sauerstoffgehalt liegt bei 6 ppm. Mit diesem Wert schlagen wir die Konkurrenz um mehr als den Faktor zwei. So tragen wir dazu bei, dass jeder Bildpunkt im TFT-LCD Display einwandfrei angesteuert wird und Rückkontake in CIGS optimal funktionieren.

Bondingshop Japan
Plansee hat eigene Bondingshops in Asien
Molybdän Rohrtarget
Sorgfältige Qualitätskontrolle
Molybdän Rohrtarget
Sorgfältige Verpackung

Maximale Dichte. Homogene Mikrostruktur.

Molybdän-Sputtertargets von Plansee sind durch spezielle Umform­verfahren nahezu 100% dicht. Der Vorteil für Ihren Prozess ist Zeitgewinn durch hohe Sputter­geschwindigkeiten. Und je dichter das Molybdän-Target ist, umso besser ist die Leit­fähigkeit Ihrer Schicht.

Mit unserem Herstellverfahren können wir die Mikrostruktur des Beschichtungs­materials gezielt einstellen. Sind die Körner des Sputter­targets gleichmäßig ausgerichtet, profitieren Sie von gleichmäßigen Abtrags­raten und homogenen Schichten.

high quality Sputtertargets

Sie wollen die perfekte Schicht? Wir regeln das.

Soviel ist sicher: Im PVD-­Prozess muss alles zusammen­passen. Nur wenn alle Prozess­parameter perfekt aufeinander abgestimmt sind, entsteht die Schicht, die genau Ihren Anforderungen entspricht. In unserem PVD-Applikations­labor sputtern wir unter praxis­­nahen Bedingungen. Unser Entwickler­team erzeugt hier Schichten und analysiert sie genau nach Ihren Vor­gaben. So entstehen in Kooperation mit Ihnen und zahlreichen Entwicklungs­instituten immer neue Beschichtungswerkstoffe bei minimalen Entwicklungs­zeiten.

Der beste Beweis für unsere Expertise sind wir selbst. Wir beschichten viele unserer Produkte wie Halb­leiter­­basis­­platten und Drehanoden im eigenen Haus und setzen die Beschichtungs­prozesse PVD, CVD, APS und VPS ein.

PVD-Applikationslabor
In unserem PVD-Applikationslabor sputtern wir unter praxisnahen Bedingungen. Unser Entwicklerteam erzeugt hier Schichten und analysiert sie genau nach Ihren Vorgaben.

Flachtargets aus Molybdän.

Unsere Materialien überzeugen seit mehr als 20 Jahren als Dünn­schichten in TFT-Displays.

  • hohe Reinheit
  • maximale Dichte
  • homogene Mikrostruktur

Entscheiden Sie sich für unsere einteiligen oder mehrteiligen Flach­targets, die wir gerne in-house für Sie bonden. Wir fertigen unsere planaren Sputter­targets für alle gängigen Anlagen.

Sputtertarget

Rohrtargets aus Molybdän.

Sie wollen mehr rausholen? Nutzen Sie mit unseren Rohrtargets mehr als 75 % des Target-Materials und verlängern Sie so die Stand­zeit. Wir fertigen Rohr­targets bis zu vier Meter lang auf wieder­verwendbaren Träger­rohren aus Stahl oder Titan.

Testen Sie auch unsere mono­lithischen Rohr­targets ohne Trägerrohr. Sie sind weniger temperatur­empfindlich und können mit bis zu 30 kW/m besonders schnell abgesputtert werden.

Monolithic-rotary-target
Monolithisches Rohrtargets aus Molybdän
Monolithic-rotary-target
Gesputtertes, monolithisches Target

Monolithische Targets jetzt mit Innenbeschichtung.

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Sie wollen Kosten sparen? Wir statten unsere monolithischen Molybdäntargets mit einer polymerbasierten Schicht aus.

Erfahren Sie, warum sich die Innenbeschichtung auch für Sie auszahlt.

Einwandfreie Qualität aus einer Hand.

Als einziger Sputtertarget-Hersteller haben wir alles selbst in der Hand. Vom Rohstoff bis zum Endprodukt: die Entwicklung neuer Werkstoffe sowie die Optimierung von Beschichtungsverfahren und Schichten eingeschlossen. Das Sintern ist das zentrale Verfahren in unserem pulvermetallurgischen Herstellungsprozess. Aus porösen Pulverpresslingen fertigen wir dabei kompakte, metallische Teile. Mit dem weltgrößten Warmwalzwerk für hochschmelzende Metalle produzieren wir Flachtargets mit maximaler Dichte. Rohrtargets stellen wir mit speziellen Umformverfahren her.

Oxid
Reduktion
Mischen
Legieren
Wir verdichten unsere Metallpulver und Metallpulvermischungen mit bis zu 2 t/cm² (Tonnen pro Quadratzentimeter) Druck zu einem sogenannten Grünling. Bei Endprodukten mit besonders aufwendigen Geometrien pressen wir den Grünling schon in eine entspreche
Pressen
Sintern
Umformen
Wärme
behandlung
Mechanische
Bearbeitung/
Bonding
Qualitäts-
sicherung
Recycling
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